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產品特點
1、不添加氮氣實現(xiàn)高濃度400G/M3(N)臭氧生成
2、可搭載于19英寸機架
3、小流量到大流量的豐富選型
4、高耐壓,長壽命的高可靠性放電單元
5、快速啟動以及精準的濃度響應性能
6、連接濃度儀實現(xiàn)濃度的高穩(wěn)定性(反饋控制)
7、CE·NRTL認證,適用SEMI標準
8、氣體管道材料可選:316LSS OR PFE

性能表

規(guī)格

臭氧流量

1L/min 24L/min210g/m3(N)時〕

臭氧供給壓力

max.0.15MPa

冷卻水溫度

20℃±2℃

外形尺寸

W483mm×D453mm×H266mm

重量

3045kg電源 AC200V 3

電源

AC200V 3